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干式蚀刻机HZZ-H500
干式蚀刻机HZZ-H500
每组系统包含: —原装进口雷射源(Fiber OR UV) —驱动程式 —光学系统组 —X-Y轴直交型线性马达运动系统 —Z轴焦距微调平台 —平台5相微步进马达 —CCD智能型自动定位系统
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